Подбор и корректировка режимов нанесения, экспонирования, проявления в зависимости от применяемых материалов в пределах технологической документацией.
Замер линейных размеров элементов под микроскопом.
Совмещение маски и фотошаблона по реперным модулям и элементам.
Определение процента дефектных модулей на фотошаблоне в процессе эксплуатации.
Аттестация геометрических размеров элементов на маске и пластине кремния с помощью микроскопов.
Определение неисправностей в работе установок и автоматического оборудования и принятие мер к их устранению.